光伏电池刻蚀工艺会产生废气吗(光伏电池刻蚀工艺产生废气的原因)
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光伏电池(Photovoltaic Cells)是一种将太阳光能转化为电能的装置,它的基底材料主要有单晶硅、多晶硅、非晶硅、硫化镉、硒化镉等。那么光伏电池刻蚀工艺会产生废气吗?下面为您介绍光伏电池刻蚀工艺产生废气的原因。
光伏电池刻蚀工艺会产生废气吗
是的,光伏电池刻蚀工艺会产生废气。
在电池片的制造工艺流程中,刻蚀过程会产生酸雾和氟化物废气。其中,氟化物废气的排放量取决于刻蚀过程中使用的氟化物材料和工艺参数。此外,制绒过程中也会产生酸性废气。扩散过程中会产生氯化氢、氯气等废气。氮化硅薄膜过程会产生硅烷、氨气。丝网烧结阶段会产生焊烟废气。在光伏产业链中,各个环节都可能产生废气,这些废气必须经过尾气处理设备净化处理后才能排放。
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