半导体行业废气排放标准是什么？国家半导体厂环保废气处理排放执行标准要求
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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。
国家半导体行业大气污染物排放标准
目前国家没有专门关于半导体行业的国家标准，一切依据《中华人民共和国环境保护法》（2015-01-01）《环境空气质量标准》（GB3095-2012）《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）等相关文件。
地方半导体行业大气污染物排放标准：
江苏省:《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)
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