为满足太阳能、光能行业，半导体行业即CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化，硅烷废气可使用不锈钢硅烷燃烧塔。

硅烷性质

硅烷也称矽烷，化学分子式SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃气体，在空气中无需加火源，硅烷就可以自然，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧化剂氧化。

硅烷燃烧塔原理

硅烷燃烧塔通常采用优质不锈钢原料进行制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。

硅烷燃烧塔操作及维护注意事项

1. 不锈钢硅烷燃烧净化塔要保证负压在200帕左右;
2. 设备真空泵后面必须加应急燃烧筒; 
3. 不锈钢硅烷燃烧塔必须采用双风机抽风，一个使用一个备用; 
4. 硅烷燃烧净化装置必须加装调节阀; 
5. 风机进风口的电动调节阀必须与风机联动。

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