砷磷烷吸附剂
ASH、PH吸附剂，是针对泛半导体行业磷砷烷等剧毒气体自主研发的高效干式吸附剂。 利用酸碱中和反应、氧化还原反应、复分…【查看应用案例】
处理气体：硫化氢、氮化氢、氯气等酸性气体
处理效率：>99%
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ASH、PH吸附剂，是针对泛半导体行业磷砷烷等剧毒气体自主研发的高效干式吸附剂。利用酸碱中和反应、氧化还原反应、复分解反应等基本原理，采用特种的活性金属氧化物以及碱性金属氧化物为主要活性成分，复合成为高效吸附剂，可与砷磷烷气体产生化学反应，将气态砷磷元素捕获、固化ZUI终实现统一无害化处理，实现废气的达标排放。
砷磷烷吸附剂物化特性
| 材料性质 | 单位 | GLSD-ASA-1 | GLSD-ASA-2 |
|---|---|---|---|
| 规 格 | mm | 球形（Φ3-5） | 柱状（Φ3） |
| 堆积密度 | （g/ml) | ~790 | ~560 |
| 比表面积 | （m2/g) | ~200 | ~670 |
| 颗粒强度 | （N) | 264 | 153 |
| 含水量 | （%） | <5% | 10% |
| 耐温性 | （℃） | 450 | 350 |
| 处理效率 | （%） | >99% | >99% |
砷磷烷吸附剂图片
砷磷烷吸附剂吸附性能
| 吸附容量（L/L) | ||
| 气体 | GLSD-AsA-1 | GLSD-AsA-2 |
| AsH3 | 66.8 | 65.2 |
| PH3 | 62.7 | 60.3 |