半导体特气有哪些（半导体行业特种气体分类）
- 金沙威尼斯欢乐娱人城
- 擅长：14年废气治理经验，提供方案及设备，助力企业废气达标排放
半导体特气在半导体制造过程中起着非常重要的作用，对于器件的性能和稳定性有着重要影响。那么，半导体特气有哪些？
半导体行业特种气体分类
- 硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷、二氯二氢硅等。
- 掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体。
- 蚀刻清洗气体：含卤素的卤化物及卤碳化合物。
- 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。
- 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。
以上就是《半导体特气有哪些（半导体行业特种气体分类）》的全部内容，希望对您有所帮助。金沙威尼斯欢乐娱人城是工业废气治理系统解决方案提供商，为企业客户提供废气治理一站式服务（系统规划、工艺设计、产品设计、设备生产及供货、现场安装集成、系统调试及智慧运维）。如您有半导体行业废气处理的需求，即刻联系我们吧！服务热线：13811148535（同微信）/ 4009655098
提示：本网部分已发布的信息内容可能存在过时，请注意辨别。部分内容整理为互联网/转载官方发布，相关信息仅为传递更多信息之目的，不代表本网观点，不拥有所有权。如有侵权联系删除。