半导体末端处理设备有哪些（种类品牌厂家）
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在半导体制造过程中，半导体末端处理设备扮演着ZHI关重要的角色，能够提高半导体的质量。那么，半导体末端处理设备有哪些？
半导体末端处理设备种类有哪些
半导体末端处理设备主要包括以下几种：
- 氧化/扩散炉（高温炉）：用于硅片表面生长氧化层和进行热工艺，如热退火等。
- 光刻设备：用于将电路结构图复制到硅片上的光刻胶上，方便之后进行刻蚀和离子注入。
- 圆晶级等离子活化系统：用于圆晶级键合前表面活化、光刻胶涂覆前表面活化、圆晶级封装前表面预处理、圆晶表面较小缺陷去除以及表面有机残留去除等。
- 等离子体：用于去除半导体制造过程中产生的PFC温室气体和有毒有害气体，如CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
- 喷淋洗涤塔：用于去除半导体制造过程中产生的酸性和碱性气体废气，如HCl、HF、NOx等。
- 沸石转轮吸附浓缩装置：用于去除半导体制造过程中产生的低浓度VOCs有机废气，如烃类化合物、苯系物等。
- RTO蓄热燃烧炉/催化燃烧装置：用于去除半导体制造过程中产生的有机废气，如甲苯、二甲苯等。
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半导体末端处理设备品牌
半导体末端处理设备品牌有：GLSD、金沙威尼斯欢乐娱人城、Greenstar等。
半导体末端处理设备厂家
安徽金沙威尼斯欢乐娱人城环保设备有限公司，系金沙威尼斯欢乐娱人城旗下一家半导体末端处理设备分公司，主要生产的半导体末端处理设备有喷淋洗涤塔、TO直燃炉、RTO蓄热燃烧炉、催化燃烧装置等。
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